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Projektbeschreibung:
Die Mikrosystemtechnik (MST) erstellt technische (Sub-)Systeme, deren funktionsbestimmende Strukturen Abmessungen im Mikrometerbereich haben.
MST kombiniert Methoden der Mikroelektronik, der Mikromechanik, der Mikrofluidik und der Mikrooptik, aber auch Entwicklungen der Informatik, Biotechnologie und Nanotechnologie, indem sie Ent-wicklungen und Strukturen aus diesen Bereichen zu neuen Systemen vereinigt.
Hier wirken Sensoren, Aktoren sowie Datenverarbeitung zusammen, z.B. * optische Sensoren in kabellosen Mäusen oder * Bubble-Jet Druckköpfe in moder-nen Druckern mit mikrometerfeinen Düsen mit Heizelementen, sogar mit eigener Intelligenz im Druckkopf, * Beschleunigungs- und Drehraten-sensoren zur Auslösung von Airbags, * als Sensoren in Stabilitäts- und Navigationssystemen, * Instrumente der minimal-invasiven Chirurgie, * Endoskopsysteme, *chemische Sensoren für Lebensmittelüberwachung.
MST entwirft und produziert mikro-elektronische Schaltungen und mi-kromechanische sowie mikro-opti-sche Elemente. Im Englischen wer-den MST oft auch micro electro mechanical systems (MEMS) bzw. micro opto electro mechanical systems (MOEMS) genannt. In Ja-pan ist die Bezeichnung "micro-machines" üblich.
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Kombinationen aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktoren und elektronischen Schal-tungen auf einem Substrat bzw. Chip (SoC: System on Chip).
MEMS werden aus Polymeren her-gestellt und die Ergebnisse im Be-reich Materialforschung werden für multifunktionale Systeme genutzt.
In der Mikrosystemtechnik sind die Möglichkeiten der Halbleiter-Werk-stoffe erweitert um mechanische, optische, chemische und/oder biolo-gische Komponenten und Funktio-nen. Wichtige Beispiele von halb-leiterbasierten MEMS aus Großserien sind Beschleunigungssensoren, die z.B. für die Auslösung von Airbags verwendet werden.
Polymere MEMS sind z.B. Kunst-stoff-Lab-on-Chip-Systeme mit integrierten Ventilfunktionen.
MEMS sind sinnvoll, wo Sensoren/ Aktoren und Elektronik zusammen-arbeiten. Medizinprodukte sowie Produkte aus den Bereichen Sicher-heitstechnik, Sport, Life Sciences und Logistik können mit Hilfe von MEMS vielseitiger, einfacher, intelli-genter, kleiner, leistungsfähiger werden wie z.B. * Mobiltelefone, die auf Bewegung reagieren, * Computer die bei starken Erschüt-terungen automatisch herunterfah-ren, * Kameras und Camcorder, die selb-ständig verwackelte Bilder ausglei-chen.
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Projektpartner:

iNano Institut Hochschule Niederrhein Krefeld Prof. Dr.-Ing. Jürgen Büddefeld

DIAMANT Metallplastic GmbH Mönchengladbach
DIAMANT-Triumph Ltd. Bangalore, Indien |